單目顯微鏡,雙目顯微鏡,
一、立式接觸式干涉儀 JDS-1 參數(shù)
被測(cè)件最大長度:
150 mm
工作臺(tái)行程:
5 mm
測(cè)桿移動(dòng)范圍:
0.5mm
分劃板刻度范圍:
±50格
直接測(cè)量范圍:
5-20μm
分度值調(diào)整范圍:
0.05-0.2 μm
推薦使用分度值:
0.1 μm
測(cè)量壓力:
(1.5±0.1) N
儀器示值穩(wěn)定性:
0.02 μm
儀器誤差:
±(0.03+1.5ni △λ/λ)um
n 是格數(shù), i是格值,λ是濾光片中心波長,△λ是濾光片波長誤差
儀器體積:
280×500×700 mm
儀器重量:
40 kg
二、儀器標(biāo)準(zhǔn)配件:
1
1、五筋園臺(tái)
2
九筋瑪瑙臺(tái)
3
可調(diào)園平臺(tái)
4
輔助臺(tái)
5
平面測(cè)帽 Ф2
6
小球面測(cè)帽
7
干涉濾光片
氣體檢測(cè)儀
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