優(yōu)勢特征
? 通過稀釋實(shí)現(xiàn)多種氣體校正
? 可存儲已設(shè)置的氣體校正水平和校正順序
? 可隨時連接多達(dá)3個外部氣柱
? 菜單指引的軟件操作系統(tǒng)屏，十分便利
? 可分別在質(zhì)量流量控制器、臭氧發(fā)生器和紫外光度計(jì)上執(zhí)行內(nèi)部校正
? 可靈活增加質(zhì)量流量控制器的數(shù)量
操作原理
不同于體積流量測試，質(zhì)量流量測試并不依賴壓力。S-5000型號的空氣和氣體控制器采用質(zhì)量流量來準(zhǔn)確測試和控制干凈空氣或氣柱的流速，從而得出精確且重復(fù)性好的氣體濃度。
S-5000的操作很簡單，所需的氣體校正水平和校正順序可以編到儀表的存儲器中，通過選擇存儲的編寫序號可以啟動校正，從而將現(xiàn)場設(shè)置儀表校正的時間縮減到最短。此類校正程序很容易刪除或修改，以符合用戶的具體要求。
操作人員無需進(jìn)行計(jì)算，只需回答S-5000問題：氣柱的濃度，零氣的流量和所需參數(shù)濃度的最終輸出，儀表會進(jìn)行最終的計(jì)算，且控制MFC得出需要的濃度。
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稀釋系統(tǒng)
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流量測試的精確度
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± 0.25%
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流量控制的重復(fù)性
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± 0.1%
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流量測試的線性
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± 0.25%
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UV光度計(jì)子系統(tǒng)，帶臭氧發(fā)生器
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臭氧發(fā)生器輸出
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40 – 1,000 ppb（在總流量5.0 SLPM情況下，可調(diào)）
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標(biāo)準(zhǔn)量程
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0 – 1 ppm（臭氧的量程0-500ppb）
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精確度
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0.001 ppm
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電源
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115/220 VAC 50/60 Hz
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尺寸
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座臺式 17.8×43.5×59.0cm
支架式 17.8×48.0×59.0cm
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