首頁 > 供應產品 > CS200-A型 數字式氣體質量流量控制器
詳細說明
CS200-A型 數字式氣體質量流量控制器 高性價比產品， 高精度，多氣體多量程，自動調零，量程5sccm-50slm ，橡膠密封，通訊方式：模擬0-5V、模擬0-10V、數字485、DeviceNet
| 產品型號 |
CS200-A |
| 量程(N2) |
( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM |
| ( 0～1,2,3,5,10,20,50)SLM |
| 精度 |
±1.0% S.P. (≥35% F.S.) |
| ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) |
| 重復精度 |
±0.2% FS |
| 線性 |
±0.5% FS |
| 響應時間 |
≤1sec |
| 閥類型 |
Normally Closed or Normally Open |
| 溫度系數 |
Zer ≤±0.05% F.S./℃；Span: ≤±0.1% F.S.℃ |
| 零點漂移指標 |
＜0.6%F.S. per year without autozero |
| 表面粗糙度 |
25µinch |
| 工作環境溫度 |
（5～45）℃ |
| 輸入信號 |
Digital:RS485/DeviceNet/Profibus
Analog:(0～5)VDC(default)/ (4～20)mA/(0～20)mA< |
| 模擬流量輸出信號 |
0-5V和4-20mA |
| 模擬流量控制信號 |
0-5V和4-20mA |
| 電源要求 |
±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC(400mA) |
| 電氣連接 |
D sub 9 pins male, D sub 15 pins male, DeviceNet male, DeviceNet male+Analog Output,Profibus |
| 工作壓差范圍 |
(0.05～0.35) MPa （≤10slm）
(0.1～0.35) MPa（20slm, 30slm）
(0.2～0.45) MPa（50slm） |
| 最大耐壓 |
3MPa |
| 漏率 |
1×10-9atm·cc / sec He（1×10-10 Pa·m3 / sec He） |
| 密封材料 |
氟橡膠Viton |
| 接頭尺寸 |
VCR1/4” M；雙卡套Φ3、Φ6、Φ10、1/4”、1/8” |
| 重量 |
1kg |
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