首頁 > 供應產品 > CS200-D型 數字式氣體質量流量控制器
詳細說明
詳細參數
| 產品型號 |
CS200-D |
| 量程(N2) |
( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM |
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM |
| 精度 |
±1.0% S.P. (≥35% F.S.) |
| ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) |
| 重復精度 |
±0.2% FS |
| 線性 |
±0.5% FS |
| 響應時間 |
≤0.8 sec |
| 閥類型 |
Normally Closed or Normally Open |
| 溫度系數 |
Zer ≤±0.02% F.S./℃；Span: ≤±0.05% F.S./℃ |
| 零點漂移指標 |
＜0.6%F.S. per year without autozero |
| 表面粗糙度 |
25µinch |
| 工作環境溫度 |
（0～50）℃ |
| 輸入信號 |
Digital:RS485/DeviceNet/Profibus
Analog:(0～5)VDC(default)/ (4～20)mA/(0～20)mA |
| 模擬流量輸出信號 |
0-5V和4-20mA |
| 模擬流量控制信號 |
0-5V和4-20mA |
| 電源要求 |
±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC(400mA) |
| 電氣連接 |
D sub 9 pins male, D sub 15 pins male, DeviceNet male, DeviceNet male+Analog Output,Profibus |
| 工作壓差范圍 |
(0.05～0.35) Mpa（≤10slm）
(0.1～0.35) Mpa（>10slm） |
| 最大耐壓 |
3MPa |
| 漏率 |
1×10-10 atm·cc / sec He（1×10-11 Pa·m3 / sec He） |
| 密封材料 |
metal |
| 表面化學成分 |
Cr/Fe ratio >2.0; CrO thickness >20 |
| 接頭尺寸 |
VCR1/4” M
雙卡套Φ6，雙卡套1/4”
W-seal，C-seal |
| 重量 |
1.2kg |
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