臭氧是一種強氧化劑，滅菌過程屬生物化學氧化反應。其原理如下：

1、臭回氧能氧化分解細菌內部葡答萄糖所需的酶，使細菌滅活死亡。

2、直接與細菌、病毒作用，破壞它們的細胞器和DNA、RNA，使細菌的新陳代謝受到破壞，導致細菌死亡。

3、透過細胞膜組織，侵入細胞內，作用于外膜的脂蛋白臭氧和內部的脂多糖，使細菌發生通透性畸變而溶解死亡。

擴展資料：

臭氧消毒的注意事項：

1、臭氧對人體呼吸道粘膜有刺激，空氣中臭氧濃度達0.15ppm時，即可嗅出；按照國際標準，達0.5-1ppm時可引起口干等不適；達1-4ppm時可引起咳嗽；達4-10ppm時可引起強烈咳嗽。故消毒用臭氧消毒空氣，必須是在人不在的條件下，消毒后至少過30分鐘才能進入。

2、臭氧為強氧化劑，對多種物品有損壞，濃度越高對物品損壞越重，可使銅片出現綠色銹斑、橡膠老化，變色，彈性減低，以致變脆、鈣斷裂，使織物漂白褪色等。