美國英思科MX4 Ventis多氣體檢測儀特種氣體是氣體工業名詞，是指那些在特定領域中應用的，對氣體有特殊要求的純氣，高純氣或由高純單質氣體配制的二元或多元混合氣。氟氣用于半導體器件制備工藝中等離子干刻；另外,用于制備六氟化鈾、六氟化硫、三氟化硼和金屬氟化物等。

氨氣用作標準氣、校正氣、在線儀表標準氣；用于半導體器件制備工藝中氮化工序；另外,用于制冷、化肥、石油、采礦、橡膠等工業。氯化氫用作標準氣；用于半導體器件制備工藝中外延、熱氧化、擴散等工序；另外,用于橡膠氯氫化反應中的化學中間體、生產乙烯基和烷基氯化物時起氧氯化作用。一氧化氮用作標準氣、校正氣；用于半導體器件制備工藝中化學氣相淀積主序；制備監控大氣污染的標準vocS 污染混合氣。

 

美國英思科MX4