光電業(yè)的蝕vocS 污染刻工序(濕式化學蝕刻)是利用液體化學物質與基質表面的特定材料反應溶出,蝕刻工序產生有機及無機酸共排現(xiàn)象,因此對于光電廠除了常有酸氣臭味排放及處理效率,還須同時符合有機物及無機酸排放標準。目前行業(yè)內多數(shù)采用濕式洗滌搭配酸堿中和設備,對于水溶性佳且解離性高的酸性氣體有不錯的凈化處理效果,但是因為濕式洗滌技術對于低濃度(<3ppmv)的酸性氣體處理效果并不佳,尤其部分酸氣的嗅味閾值很低(10ppb),使用傳統(tǒng)的處理設備,無法達到相關標準的要求,也因此經常發(fā)生居民投訴的問題。目前采用濕式洗滌設備處理酸性氣體,排氣風量約600NCMM,無法從根本上解決因酸氣所衍生的臭味問題。
光電業(yè)VOCs污染處理技術方案
本方案主要為解決濕式洗滌設備排氣所產生的臭味問題,因此選擇處理技術必須要符合能處理低濃度有機及無機酸氣,以及耐高濕度的環(huán)境技術,因此若于后端加裝一般惡臭處理常用的活性碳吸附設備,將無法達到此廢氣條件下的性能及壽命要求,因此千實建議采用常溫惡臭處理觸媒濾材,藉由對于特定吸附材的改質,提升對于酸性氣體的吸附能力,也同時具備耐高濕度的操作環(huán)境,再搭配線上再生與改質技術,可大幅延VOCS排放長觸媒濾材壽命達2年以上,如此即可解決所面臨的問題。
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