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主機：

頻率范圍： 　　0.1Hz ～ 3MHz 
測量速度范圍： 0.1 μ m /s ～ 10m/s 
量程：速度：　 0.001m/s/V ，0.01m/s/V ，0.1m/s/V ，1m/s/V 
位移： 　10 -7m/V(1kHz ～ 250kHz)，10 -5m/V(10Hz ～50kHz),10-3m/V(1Hz ～ 5kHz) 
加速度： 10 1 m/s 2 /V(1Hz ～ 5kHz) ， 10 3 m/s 2 /V(1Hz～50kHz),10 5m/s2/V(20Hz ～100kHz)

輸出電壓：± 10V （輸出阻抗 50 歐姆） 
低通濾波器： 25kHz, 250kHz, 1.5MHz, OFF(3MHz) 
高通濾波器： 10Hz, OFF(0.1Hz) 
尺寸： 360 × 178×390 mm 
重量： 11kg

探頭部： 
激光光源： He-Ne 
波長： 632.8nm 
測定距離： 108mm ～ 2000mm 
測定點大小： 20 μ m 
尺寸： 59 × 43×122 mm 
重量： 550g