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D07-15型 氣體質量流量控制器
產品編號: 11450
產品: D07-15型 氣體質量流量控制器 
品牌: 七星電子
型號: Array
單價: 1500.00元/臺
最小起訂: 1 臺
供貨總量: 1 臺
貨源周期: 現貨
發貨期限: 自買家付款之日起 3 天內發貨
有效期至: 長期有效
最后更新: 2021-01-29 10:56
 
詳細說明
  
 D07-15型 氣體質量流量控制器 ★高穩流型 ★小體積,低波動 ★橡膠密封、模擬電路的MFC ★采用P20金手指插頭 用途: 質量流量控制器(MFC)用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
 D07-15型 氣體質量流量控制器詳細參數

標準:

氣體質量流量用氮氣(N2)標定。標準狀態規定為:

標準溫度………………0℃(273.15K)

標準壓強………………101325Pa


輸入和輸出:

輸入電源………………+15V,50mA,-15V,200mA

輸入設定電壓…………0~+5.00V

輸出電壓檢測…………0~+5.00V

 D07-15型 氣體質量流量控制器產品技術指標
滿量程流量范圍(N2) 5SCCM~5SLM
控制范圍 2~100%F.S.
閥類型(閥初始狀態) 電磁調節閥(常閉)
準確度 ±1%F.S.
線性 ±0.5~1%F.S.
重復精度 ±0.2%F.S.
響應時間 1~4sec
工作溫度范圍 5~45℃
工作壓差 0.1~0.3MPa
耐壓 3MPa
漏氣率 1×10-8SCCSHe
通道濕材料 316L不銹鋼、密封材料
靜密封材料 氟橡膠(或丁晴橡膠、硅橡膠)
動密封材料 氟橡膠(或丁晴橡膠、硅橡膠、聚四氟乙烯)
接頭選擇 Swagelok 1/4”或φ3、φ6mm
重量 2.6kg
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