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超純水制備速度

120L/h

超純水分配速度

2L/min

電阻率

18.2MΩ×cm@25°C

電導率

0.055μS/cm@25°C

TOC

<5ppb

產水微生物

<1CFU/1000ml

純水制備速度

5L/h

產水顆粒物

<1/ml

純水分配速度

3L/min

典型產水電導率

0.2-0.07μS/cm（受進水水質、水壓及溫度影響）

典型產水電阻率

5-15MΩ×cm（受進水水質、水壓及溫度影響）

TOC

<30ppb

產水微生物

<1CFU/1000ml

產水顆粒物

<1/ml

W|H|D|

43.5|50.1|47.6cm"

空載機重

28kg

運行機重

36kg

電源配置

100–240VAC(±10%);50–60Hz,130VA(max.)

運行溫度

2°C–35°Catmax.80%相對濕度

數據端口

SD卡接口，RS232端口，以太網接口

進水壓力

2–6.9bar

進水溫度

2–30°C

進水電導

<1500μS/cm@25°C

進水TOC

<1000ppb

進水硬度

360ppm（CaCO3），溶解CO2≤40ppm

游離氯

<4ppm

總Fe

<0.1ppm，錳：<0.05ppm，鋁：<0.05ppm

SDI淤泥指數

<5

濁度

<1NTU

pH值

4-10