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D07-19B型 氣體質(zhì)量流量控制器★高精度,快響應(yīng)型 ★橡膠密封、模擬電路的MFC ★采用DB15型電插頭,國際標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接頭 ★國際兼容 用途: 質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
D07-19B型 氣體質(zhì)量流量控制器 ★高精度,快響應(yīng)型 ★橡膠密封、模擬電路的MFC ★采用DB15型電插頭,國際標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接頭 ★國際兼容 用途: 質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
D07-19B型 氣體質(zhì)量流量控制器詳細(xì)參數(shù)
標(biāo)準(zhǔn):
氣體質(zhì)量流量用氮?dú)?N2)標(biāo)定。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:
標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃(273.15K)
標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa
輸入和輸出:
輸入電源………………+15V,50mA,-15V,200mA
輸入設(shè)定電壓…………0~+5.00V
輸出電壓檢測…………0~+5.00V
D07-19B型 氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)
滿量程流量范圍(N2) | 5SCCM~30SLM | |||||
控制范圍 | 2~100%F.S. | |||||
閥類型(閥初始狀態(tài)) | 電磁調(diào)節(jié)閥 HREF="/Product/ProductDetail.aspx?OID=53" target=_blank>電磁調(diào)節(jié)閥(常閉) | |||||
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重復(fù)精度 | ±0.2%F.S. | |||||
響應(yīng)時間 | ≤4sEC | |||||
工作溫度范圍 | 5~45℃ | |||||
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耐壓 | 3MPa | |||||
漏氣率 | 1×10-9SCCSHe | |||||
密封材料 | 氟橡膠、聚四氟乙烯、氯丁橡膠 | |||||
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電插頭形式 | DB15 pin(Male) | |||||
抗電磁干擾 | CE | |||||
重量 | 2.6kg |