-
-
-
-
-
-
- 暫無信息
D07-19C型 氣體質量流量控制器★高精度,快響應型 ★橡膠密封、模擬電路的MFC ★采用DB15型電插頭,國際標準機械接頭 ★國際兼容 用途: 質量流量控制器(MFC)用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
D07-19C型 氣體質量流量控制器★高精度,快響應型 ★橡膠密封、模擬電路的MFC ★采用DB15型電插頭,國際標準機械接頭 ★國際兼容 用途: 質量流量控制器(MFC)用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
標準:
氣體質量流量用氮氣(N2)標定。標準狀態規定為:
標準溫度………………0℃(273.15K)
標準壓強………………101325Pa
輸入和輸出:
輸入電源………………+15V,50mA,-15V,200mA
輸入設定電壓…………0~+5.00V
輸出電壓檢測…………0~+5.00V
滿量程流量范圍(N2) | 5SCCM~5SLM | |||||
控制范圍 | 2~100%F.S. | |||||
閥類型(閥初始狀態) | 電磁調節閥 HREF="/Product/ProductDetail.aspx?OID=53" target=_blank>電磁調節閥(常閉) | |||||
|
||||||
|
||||||
重復精度 | ±0.2%F.S. | |||||
溫度系數 | Zero:≤±0.1%F.S./℃ Span:≤±0.2%F.S./℃ |
|||||
響應時間 | ≤1sEC | |||||
工作溫度范圍 | 5~45℃ | |||||
|
||||||
耐壓 | 3MPa | |||||
漏氣率 | 1×10-9SCCSHe | |||||
密封材料 | 氟橡膠、聚四氟乙烯、氯丁橡膠 | |||||
|
||||||
電插頭形式 | DB15 pin(Male) | |||||
抗電磁干擾 | CE | |||||
重量 | 1.2kg |