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D07-19C型 氣體質量流量控制器
型號:D07-19C型 氣體質量流量控制器
訂貨號:
廠家:七星電子
價格:¥1500.00元/臺
區域:北京
    D07-19C型 氣體質量流量控制器★高精度,快響應型 ★橡膠密封、模擬電路的MFC ★采用DB15型電插頭,國際標準機械接頭 ★國際兼容 用途: 質量流量控制器(MFC)用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
     
    D07-19C型 氣體質量流量控制器★高精度,快響應型 ★橡膠密封、模擬電路的MFC ★采用DB15型電插頭,國際標準機械接頭 ★國際兼容 用途: 質量流量控制器(MFC)用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。

    標準:

    氣體質量流量用氮氣(N2)標定。標準狀態規定為:

    標準溫度………………0℃(273.15K)

    標準壓強………………101325Pa


    輸入和輸出:

    輸入電源………………+15V,50mA,-15V,200mA

    輸入設定電壓…………0~+5.00V

    輸出電壓檢測…………0~+5.00V

    滿量程流量范圍(N2) 5SCCM~5SLM
    控制范圍 2~100%F.S.
    閥類型(閥初始狀態) 電磁調節閥 HREF="/Product/ProductDetail.aspx?OID=53" target=_blank>電磁調節閥(常閉)
    準確度 ≤10SLM ±0.5~1%F.S.
    >10SLM ±2%F.S.
    線性 ≤10SLM ±0.5~1%F.S.
    >10SLM ±2%F.S.
    重復精度 ±0.2%F.S.
    溫度系數 Zero:≤±0.1%F.S./℃
    Span:≤±0.2%F.S./℃
    響應時間 ≤1sEC
    工作溫度范圍 5~45℃
    工作壓差 ≤10SLM 0.1~0.5MPa
    >10SLM 0.1~0.3MPa
    耐壓 3MPa
    漏氣率 1×10-9SCCSHe
    密封材料 氟橡膠、聚四氟乙烯、氯丁橡膠
    接頭選擇 VCR 1/4”或&pHi;4hose、φ6hose
    雙卡套 1/8”、1/4”或φ3、φ6mm
    電插頭形式 DB15 pin(Male)
    抗電磁干擾 CE
    重量 1.2kg
    暫無信息
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