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D07-60B型 氣體質(zhì)量流量控制器★高精度、重復(fù)性好、快響應(yīng)型 、超大流量型 ★橡膠密封、模擬電路的MFC ★國際標準機械接頭 用途: 質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等業(yè)。
D07-60B型 氣體質(zhì)量流量控制器★高精度、重復(fù)性好、快響應(yīng)型 、超大流量型 ★橡膠密封、模擬電路的MFC ★國際標準機械接頭 用途: 質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等業(yè)。
D07-60B型 氣體質(zhì)量流量控制器詳細參數(shù)
標準:
氣體質(zhì)量流量用氮氣(N2)標定。標準狀態(tài)規(guī)定為：
標準溫度………………0℃（273.15K）
標準壓強………………101325Pa
輸入和輸出:
輸入電源………………+15V,50mA;-15V,200mA
輸入設(shè)定電壓…………0～+5.00V
輸出電壓檢測…………0～+5.00V
D07-60B型 氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品技術(shù)指標
| 滿量程流量范圍（N2) | 300SLM～2000SLM | |||||
| 控制范圍 | 2～100％F.S. | |||||
| 閥類型（閥初始狀態(tài)） | 電磁調(diào)節(jié)閥 HREF="/Product/ProductDetail.aspx?OID=53" target=_blank>電磁調(diào)節(jié)閥 HREF="/Product/ProductDetail.aspx?OID=53" target=_blank>電磁調(diào)節(jié)閥（常閉） | |||||
| 準確度 | ±2％F.S. | |||||
| 線性 | ±1％F.S. | |||||
| 重復(fù)精度 | ±0.2％F.S. | |||||
| 響應(yīng)時間 | ≤10sEC | |||||
| 工作溫度范圍 | 5～45℃ | |||||
| 工作壓差范圍 | （0.25～0.5）MPa (≤1000SLM) （0.4～0.5）MPa (＞1000SLM) |
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| 耐壓 | 3MPa | |||||
| 漏氣率 | 1×10-8SCCSHe | |||||
| 通道濕材料 | 316L不銹鋼、密封材料 | |||||
| 靜密封材料 | 氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠） | |||||
| 動密封材料 | 氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠、聚四氟乙烯） | |||||
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| 重量 | 6kg | |||||