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D07-60G型 氣體質量流量控制器★高精度、重復性好、快響應型 、超大流量型 ★橡膠密封、模擬電路的MFC ★國際標準機械接頭 用途: 質量流量控制器(MFC)用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業
D07-60G型 氣體質量流量控制器★高精度、重復性好、快響應型 、超大流量型 ★橡膠密封、模擬電路的MFC ★國際標準機械接頭 用途: 質量流量控制器(MFC)用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
標準:
氣體質量流量用氮氣(N2)標定。標準狀態規定為:
標準溫度………………0℃(273.15K)
標準壓強………………101325Pa
輸入和輸出:
輸入電源………………24V,400mA
輸入設定電壓…………(4~20)mA or (1~5)V
輸出電壓檢測…………(4~20)mA or (1~5)V
滿量程流量范圍(N2) | 300SLM~2000SLM | |||||
控制范圍 | 2~100%F.S. | |||||
閥類型(閥初始狀態) | 先導閥 | |||||
準確度 | ±2%F.S. | |||||
線性 | ±(0.5~2)%F.S. | |||||
重復精度 | ±0.2%F.S. | |||||
響應時間 | ≤20sEC | |||||
工作溫度范圍 | 5~45℃ | |||||
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耐壓 | 3MPa | |||||
漏氣率 | 1×10-8SCCSHe | |||||
密封材料 | 氟橡膠;氯丁橡膠 | |||||
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電插頭形式 | DB15 pin(Male) | |||||
重量 | 6kg |