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D07-7BM型 氣體質(zhì)量流量計★高性能價格比、普通型產(chǎn)品 ★橡膠密封、模擬電路的MFC ★7M型的更新?lián)Q代型 ★管狀分流,使用壽命長 用途: 質(zhì)量流量計(MFM)用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密地測量。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
D07-7BM型 氣體質(zhì)量流量計★高性能價格比、普通型產(chǎn)品 ★橡膠密封、模擬電路的MFC ★7M型的更新?lián)Q代型 ★管狀分流,使用壽命長 用途: 質(zhì)量流量計(MFM)用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密地測量。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
D07-7BM型 氣體質(zhì)量流量計詳細參數(shù)
標準:
氣體質(zhì)量流量用氮氣(N2)標定。標準狀態(tài)規(guī)定為:
標準溫度………………0℃(273.15K)
標準壓強………………101325Pa
輸入和輸出:
輸入電源………………+15V,50mA,-15V,50mA
輸出電壓檢測…………0~+5.00V
D07-7BM型 氣體質(zhì)量流量計產(chǎn)品技術(shù)指標
| 滿量程流量范圍(N2) | 5SCCM~10SLM | |||||
| 控制范圍 | 2~100%F.S. | |||||
| 準確度 | ±1.5%F.S. | |||||
| 線性 | ±(0.5~1.5)%F.S. | |||||
| 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S. | |||||
| 響應(yīng)時間 | ≤7sEC | |||||
| 工作溫度范圍 | 5~45℃ | |||||
| 工作壓差 | <0.01MPa | |||||
| 耐壓 | 3MPa | |||||
| 漏氣率 | 1×10-8SCCSHe | |||||
| 密封材料 | 氟橡膠(或氯丁橡膠) | |||||
| 電插頭形式 | DB15 pin(Male) | |||||
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| 重量 | 0.92kg | |||||








