測量范圍：0.0～10/100/1000×10-6；
    精 度：≤±5％F.S(0.0～10×10-6)；
    ≤±2％F.S(10～100×10-6)；
    ≤±2％F.S(100～1000×10-6)；
    穩定性：零點漂移≤±2％F.S/7d；
    量程漂移≤±2％F.S/7d；
    重復性：≤±1％；
    樣氣流量：300±10ml/ min；
    響應時間：T90≤15秒；
    分 辨 率：0.1×10-6 ；
    樣氣壓力：0.05 MPa≤入口壓力≤0.25MPa；
    觸點容量：220VAC，1A 24VDC，2A；
    輸出信號：4～20mA或0～10mA可選；
    工作環境：溫度：－5℃～＋45℃；
    濕度：≤90%RH；
    工作電源：220VAC±10%，50Hz±5%；
    外形尺寸：160mm（寬）×160mm（高）×260mm（深）;
    安裝尺寸：155mm（寬）×155mm（高）