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公司基本資料信息
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型號：新宇宙式特氣檢測部 PS-7（半導(dǎo)體工廠用）
特性：專為半導(dǎo)體行業(yè)定制，傳感器自由更換，維護(hù)方便
檢測對象：半導(dǎo)體材料氣體
日本新宇宙 PS-7固定式氣體檢測器(半導(dǎo)體工廠用)
檢測方式：
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特點(diǎn)： |
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LCD顯示，現(xiàn)場狀態(tài)一目了然 |
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實(shí)現(xiàn)小型、輕量化 |
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可簡單地更換傳感器和采樣氣路 |
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帶有防止傳感器單元錯(cuò)誤插入的功能 |
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可以設(shè)定多樣的維護(hù)模式 |
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組合對應(yīng)熱分解單元與定電位電解式傳感器，能檢測NF3等 |
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實(shí)現(xiàn)了用PDA讀取數(shù)據(jù) |
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符合CE規(guī)格，SEMI規(guī)格 |
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規(guī)格： |
規(guī)格 |
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日本新宇宙 PS-7固定式氣體檢測器(半導(dǎo)體工廠用)
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型號 |
PS-7 |
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標(biāo)準(zhǔn)型 |
附帶轉(zhuǎn)換器組件型 |
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檢測原理 |
•定電位電解式、熱絲型半導(dǎo)體式、隔膜電流電池式 |
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采樣方式 |
泵吸引式（0.5L/min吸引流量 自動(dòng)控制） |
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采樣配管 |
特氟隆外徑6內(nèi)徑4mm、配管距離在20m以內(nèi) |
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氣體濃度顯示 |
液晶數(shù)字四位顯示（附帶單位）20分割條形圖 |
日本新宇宙 PS-7固定式氣體檢測器(半導(dǎo)體工廠用)
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報(bào)警接點(diǎn) |
•氣體報(bào)警（1段以及二級） 報(bào)警、紅色液晶指示燈閃爍、液晶畫面 第1段 ALARM1 第1段 ALARM1 ALARM2顯示 |
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外部輸出 |
氣體濃度模擬輸出 DC4~20mA（與電源的負(fù)極通用） 氣體報(bào)警接點(diǎn)（1段以及兩極） 1a無電壓接點(diǎn)/自動(dòng)復(fù)位 故障報(bào)警接點(diǎn) （開路集電極/自動(dòng)復(fù)位） |
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適合電纜線 |
控制用屏幕電纜線（Φ8~11mm）x2 3芯或者4芯 使用溫度濕度范圍 0℃~40℃（但是不能有劇烈的溫度變化）、30~85%RH（但不能結(jié)露） |
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使用電源 |
DC24V±10% |
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消耗電力 |
約7w |
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尺寸 |
•W62xH124xD143mm(除去突起物) |
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重量 |
約1.0kg |
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安裝方法 |
壁掛式 |
儀器采購、咨詢聯(lián)系電話：010-82752485 ,82752463?
