在線氣體監(jiān)測儀 IR-150系列是使用了NDIR法(非分散型紅外吸收法)的半導(dǎo)體氣體濃度監(jiān)測儀。
它可以在線檢測用于化合物半導(dǎo)體制造工藝的液體材料 TMAI、TMGa、TMIn、DEZn 等固體以及液體材料中發(fā)生氣化的氣體濃度。

在線氣體濃度計(jì)IR-150特點(diǎn)
最適于MOCVD用液體,固體材料氣體的濃度管理
實(shí)現(xiàn)了與MFC相等的操作通用性和價(jià)格統(tǒng)一性。

在線氣體濃度計(jì)IR-150在線實(shí)時(shí)檢測濃度。
配備有安全探測安全系統(tǒng)(SDSS)，支持將來的300mm全自動(dòng)晶圓生產(chǎn)。
系統(tǒng)中包括濃度、壓力的報(bào)警，和報(bào)警輸出。
小巧、可隨意安裝設(shè)置，不需要選擇空間
具備超群的性價(jià)比，最適于生產(chǎn)線中的濃度管理