cosmos XPS-7 一氧化碳?xì)怏w檢測器
cosmos XPS-7 一氧化碳?xì)怏w檢測器:用途
- ?半導(dǎo)體工廠/石油化學(xué)工廠等
- ?在使用半導(dǎo)體材料氣體/一氧化碳?xì)怏w 的現(xiàn)場進(jìn)行泄漏檢測

cosmos XPS-7 一氧化碳?xì)怏w檢測器:特 點(diǎn)
對象氣體一覽表(XPS-7/XPS-7Ⅱ)
型 號 |
氣 體 |
滿量程 |
XDS-7NH |
NH3氨氣 |
100ppm |
XDS-7SH |
SiH4甲硅烷 |
25ppm |
XDS-7DC |
SiH2Cl2二氯二氫硅 |
25ppm |
XDS-7AH |
AsH3砷化氫 |
250ppb |
XDS-7PH |
PH3磷化氫 |
1ppm |
XDS-7BH |
B2H6乙硼烷 |
500ppb |
XDS-7SE |
H2Se硒化氫 |
250ppb |
型 號 |
氣 體 |
滿量程 |
XDS-7GH |
GeH4鍺烷 |
1ppm |
XDS-7CL |
Cl2氯氣 |
5ppm |
XDS-7CF |
ClF3三氟化氯 |
1ppm |
XDS-7HC |
HCl氯化氫 |
25ppm |
XDS-7HF |
HF氟化氫 |
10ppm |
XDS-7HB |
HBr溴化氫 |
10ppm |
XDS-7NO |
NO一氧化氮 |
100ppm |
型 號 |
氣 體 |
滿量程 |
XDS-7HS |
H2S硫化氫 |
50ppm |
XDS-7CO |
CO一氧化碳 |
250ppm |
XDS-7DS |
Si2H6乙二氯二氫硅 |
25ppm |
XDS-7F2 |
F2鐵 |
5ppm |
XDS-7OZ |
O3臭氧 |
1ppm |
XDS-7SD |
SO2二氧化硫 |
10ppm |
XDS-7ND |
NO2二氧化氮 |
10ppm |
XPS-7Ⅱ:支持檢測 NF3 的微型便攜式氣體檢測器
型 號 |
檢測氣體名 |
氣 體 |
滿量程 |
一段報(bào)警 |
二段報(bào)警 |
單位 |
XDS-7NF |
三氟化氮 |
NF3 |
100 |
5 |
10 |
ppm |