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D07-15型 氣體質(zhì)量流量控制器★高穩(wěn)流型 ★小體積，低波動(dòng) ★橡膠密封、模擬電路的MFC ★采用P20金手指插頭 用途: 質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)
D07-15型 氣體質(zhì)量流量控制器 ★高穩(wěn)流型 ★小體積，低波動(dòng) ★橡膠密封、模擬電路的MFC ★采用P20金手指插頭 用途: 質(zhì)量流量控制器（MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
D07-15型 氣體質(zhì)量流量控制器詳細(xì)參數(shù)
標(biāo)準(zhǔn):
氣體質(zhì)量流量用氮?dú)?N2)標(biāo)定。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：
標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃（273.15K）
標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa
輸入和輸出:
輸入電源………………+15V,50mA,-15V,200mA
輸入設(shè)定電壓…………0～+5.00V
輸出電壓檢測…………0～+5.00V
D07-15型 氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)
| 滿量程流量范圍（N2) | 5SCCM～5SLM | |||
| 控制范圍 | 2～100％F.S. | |||
| 閥類型（閥初始狀態(tài)） | 電磁調(diào)節(jié)閥（常閉） | |||
| 準(zhǔn)確度 | ±1％F.S. | |||
| 線性 | ±0.5～1％F.S. | |||
| 重復(fù)精度 | ±0.2％F.S. | |||
| 響應(yīng)時(shí)間 | 1～4sEC | |||
| 工作溫度范圍 | 5～45℃ | |||
| 工作壓差 | 0.1～0.3MPa | |||
| 耐壓 | 3MPa | |||
| 漏氣率 | 1×10-8SCCSHe | |||
| 通道濕材料 | 316L不銹鋼、密封材料 | |||
| 靜密封材料 | 氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠） | |||
| 動(dòng)密封材料 | 氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠、聚四氟乙烯） | |||
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| 重量 | 2.6kg | |||