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公司基本資料信息
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D07-7型質量流量控制器B類產品
標準:
氣體質量流量用氮氣(N2)標定。標準狀態規定為:
標準溫度………………0℃(273.15K)
標準壓強………………101325Pa
輸入和輸出:
輸入電源………………+15V,50mA,-15V,200mA
輸入設定電壓…………0~+5.00V
輸出電壓檢測…………0~+5.00V
滿量程流量范圍(N2) | 5SCCM~10SLM |
控制范圍 | 2~100%F.S. |
閥類型(及閥初始狀態) | |
準確度 | ±1.5%F.S. |
線性 | ±0.5~1.5%F.S. |
重復精度 | ±0.2%F.S. |
響應時間 | ≤7sec |
工作溫度范圍 | 5~45℃ |
工作壓差 | 0.1~0.5MPa |
耐壓 | 3MPa |
漏氣率 | 1×10-8atm.cc/sec He |
通道濕材料 | 316L不銹鋼、密封材料 |
靜密封材料 | 氟橡膠(或丁晴橡膠、硅橡膠) |
電連接器 | D sub 9 pins male,D sub 15 pins male,DeviceNetTMmale |
動密封材料 | 氟橡膠(或丁晴橡膠、硅橡膠、聚四氟乙烯) |
接頭選擇 | VCR 1/4” |
雙卡套 1/4”或φ6、φ3 | |
重量 | 1.1Kg |
儀器采購、咨詢聯系電話:010-82752485 ,82752463?