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D07-7型B類 氣體質量流量控制器質量流量控制器 ★高性能價格比、普通型產品 ★橡膠密封、模擬電路的MFC ★7A型的更新換代型 ★管狀分流,使用壽命長 用 途: 質量流量控制器(MFC)用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
D07-7型B類 氣體質量流量控制器質量流量控制器 ★高性能價格比、普通型產品 ★橡膠密封、模擬電路的MFC ★7A型的更新換代型 ★管狀分流,使用壽命長 用 途: 質量流量控制器(MFC)用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
D07-7型質量流量控制器B類產品
標準:
氣體質量流量用氮氣(N2)標定。標準狀態規定為:
標準溫度………………0℃(273.15K)
標準壓強………………101325Pa
輸入和輸出:
輸入電源………………+15V,50mA,-15V,200mA
輸入設定電壓…………0~+5.00V
輸出電壓檢測…………0~+5.00V
D07-7型B類 氣體質量流量控制器產品技術指標
滿量程流量范圍(N2) | 5SCCM~10SLM |
控制范圍 | 2~100%F.S. |
閥類型(及閥初始狀態) | |
準確度 | ±1.5%F.S. |
線性 | ±0.5~1.5%F.S. |
重復精度 | ±0.2%F.S. |
響應時間 | ≤7sEC |
工作溫度范圍 | 5~45℃ |
工作壓差 | 0.1~0.5MPa |
耐壓 | 3MPa |
漏氣率 | 1×10-8atm.cc/sec He |
通道濕材料 | 316L不銹鋼、密封材料 |
靜密封材料 | 氟橡膠(或丁晴橡膠、硅橡膠) |
電連接器 | D sub 9 pins male,D sub 15 pins male,DeviceNetTMmale |
動密封材料 | 氟橡膠(或丁晴橡膠、硅橡膠、聚四氟乙烯) |
接頭選擇 | VCR 1/4” |
雙卡套 1/4”或&pHi;6、φ3 | |
重量 | 1.1Kg |