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公司基本資料信息
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標準:
氣體質量流量用氮氣(N2)標定。標準狀態規定為:
標準溫度………………0℃(273.15K)
標準壓強………………101325Pa
輸入和輸出:
輸入電源………………+15V,50mA;-15V,400mA
輸入設定電壓…………0~+5.00V
輸出電壓檢測…………0~+5.00V
| 滿量程流量范圍(N2) | 20~250SLM | |||||||
| 控制范圍 | 2~100%F.S. | |||||||
| 閥類型(閥初始狀態) | 電磁調節閥 HREF="/Product/ProductDetail.aspx?OID=53" target=_blank>電磁調節閥(常閉) | |||||||
| 準確度 | ±2%F.S. | |||||||
| 線性 | ±0.5~2%F.S. | |||||||
| 重復精度 | ±0.2%F.S. | |||||||
| 響應時間 | ≤4sec | |||||||
| 工作溫度范圍 | 5~45℃ | |||||||
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| 耐壓 | 3MPa | |||||||
| 漏氣率 | 1×10-8atm.cc/sec He | |||||||
| 通道濕材料 | 316L不銹鋼、密封材料 | |||||||
| 靜密封材料 | 氟橡膠(或丁晴橡膠、硅橡膠) | |||||||
| 動密封材料 | 氟橡膠(或丁晴橡膠、硅橡膠、聚四氟乙烯) | |||||||
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| 重量 | 2.6kg | |||||||
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