放大倍數

x20 ~ x150,000

加速電壓

1~30kV

電子槍

鎢燈絲

探測器

標配二次電子像（升級）、背散射電子像（可伸縮），可選配能譜儀

樣品臺

X: 35mm (馬達驅動)， Y: 35mm (馬達驅動)，

T: 0- 45°(馬達驅動)， R: 360°，Z: 5-50mm

樣品座

通用7個樣品樁的樣品臺

通用25mm的樣品臺

通用傾斜

通用截面臺

試樣尺寸

45mm（高）,60mm （直徑）   

圖像模式

(像素)

Focus聚焦（160 x120 pixel）

RED選區（320240），

TV（640480）

Slow（800600）

Photo（1280960，25601920，5120.x3840）

真空系統

渦輪分子泵（小于3分鐘）

軟件

全新的NanoStation 3.0TM

自動功能

聚焦、燈絲、亮度、對比度   

特殊功能

導航模式

駕駛模式（通過控制桿操作）

SE+BSE混合像，分屏同時顯示SE,BSE像

組成、形貌

線輪廓

操作系統

Windows 7

操作方式

控制桿，鼠標，鍵盤

外形尺寸

400×600×500,90kg