產品參數說明：

l耐腐蝕、易清潔注塑內腔，HDPE材料真空吸盤

l耐溶劑性PC材料透明蓋，恒定扭矩定位功能

l文本顯示器，按鍵控制，中英文可選

l75W直流無刷電機，單片機控制

l可處理碎片（小于1cm）至4英寸圓晶底物

l轉速可控范圍：100-9999rpm，轉速分辨率：1rpm

l加速度可控范圍：100-9999rpm/s

l最大單步步長：3000s，時間分辨率：1s

l可進行多步程序運行，最多可編輯5組5步程序

l寬輸入電壓適用：AC100-230V輸入

 EZ4勻膠機產品外型尺寸： 210 (W) * 265 (D) * 213 (H)
 

 EZ4勻膠機產品附件選擇：

l標配三種規格載物盤（直徑10mm,25mm,55mm）。

l根據基片尺寸和要求可提供嵌入式或檔桿式定制載物盤設計加工。

l用于柔性薄膜基片可提供定制微孔陶瓷真空吸附載物盤。

l旋涂內腔易拆卸，方便廢膠清洗，內腔可更換。

l無油真空泵（抽氣量15L/min以上）或真空發生器可選。