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公司基本資料信息
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產品參數說明:
l耐腐蝕、易清潔注塑內腔,HDPE材料真空吸盤
l耐溶劑性PC材料透明蓋,恒定扭矩定位功能
l文本顯示器,按鍵控制,中英文可選
l75W直流無刷電機,單片機控制
l可處理碎片(小于1cm)至4英寸圓晶底物
l轉速可控范圍:100-9999rpm,轉速分辨率:1rpm
l加速度可控范圍:100-9999rpm/s
l最大單步步長:3000s,時間分辨率:1s
l可進行多步程序運行,最多可編輯5組5步程序
l寬輸入電壓適用:AC100-230V輸入
EZ4勻膠機產品外型尺寸: 210 (W) * 265 (D) * 213 (H)
EZ4勻膠機產品附件選擇:
l標配三種規格載物盤(直徑10mm,25mm,55mm)。
l根據基片尺寸和要求可提供嵌入式或檔桿式定制載物盤設計加工。
l用于柔性薄膜基片可提供定制微孔陶瓷真空吸附載物盤。
l旋涂內腔易拆卸,方便廢膠清洗,內腔可更換。
l無油真空泵(抽氣量15L/min以上)或真空發生器可選。
儀器采購、咨詢聯系電話:010-82752485 ,82752463?