·         主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）

·         旋涂程序：最多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒

·         轉(zhuǎn)動速度：0-10,000rpm（更高速可選）

·         旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）

·         馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm

·         轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復(fù)性< 1rpm

·         工藝時間設(shè)定： 0-3,000 sec/step，時間設(shè)置精度：0.1sec

·         支持wafer尺寸25px-200mm（8”圓晶）

·         旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）

產(chǎn)品外型尺寸：

　　　　　433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備結(jié)構(gòu)
　　　　　306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可選分體結(jié)構(gòu)