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公司基本資料信息
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接口定義
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線號定義 |
參數 |
點號 |
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RS-485+ |
485 A/+ |
1 |
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RS-485- |
485 B/- |
2 |
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電源地 |
GND |
3 |
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電源正極 |
+24V |
4 |
數字式氣體質量流量控制器GT-130D參數信息
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流量 |
10sccm/100sccm/500sccm/1slpm/10slpm |
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氣體類型 |
H2/He/N2/Air（可定制） |
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精度 |
±1%F.S. |
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響應時間 |
≤1s |
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氣路材質 |
鈍化316L不銹鋼/鋁合金 |
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工作溫度 |
0~50℃ |
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工作濕度 |
0~95%R.H.（非冷凝） |
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電源 |
24V±10%/12V±10% |
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信號接口 |
RS-485（Modbus） |
數字式氣體質量流量控制器GT-130D選型表
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型號 |
氣體種類 |
量程范圍 |
供電電壓 |
接口尺寸 |
氣路材質 |
精確度等級 |
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GT130D |
代號 |
介質 |
代號 |
量程 |
代號 |
電壓 |
代號 |
接口 |
代號 |
材質 |
代號 |
等級 |
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H2 |
氫氣 |
50 |
0-50ccm |
12 |
12V |
16 |
1/16 |
SS |
不銹鋼 |
1 |
0.5 |
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N2 |
氮氣 |
100 |
0-100ccm |
24 |
24V |
08 |
1/8 |
AL |
鋁 |
2 |
1.0 |
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HE |
氦氣 |
500 |
0-500ccm |
X |
定制 |
04 |
1/4 |
X |
定制 |
3 |
1.5 |
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AR |
氬氣 |
1L |
0-1lpm |
X |
定制 |
4 |
2.0 |
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AIR |
空氣 |
5L |
0-5lpm |
5 |
2.5 |
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CO2 |
二氧化碳 |
10L |
0-10lpm |
X |
定制 |
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X |
定制 |
20L |
0-20lpm |
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|
X |
定制 |
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示例 |
GT130D-AR-20L-24-04-AL-5（數字式質量流量控制器-氬氣-20lpm-24V-1/4-鋁-2.5級） |
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