單一氣體檢測儀，復合式氣體檢測儀
檢測對象氣體
半導體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）
檢測原理
熱線型半導體式
采樣方式
自動吸引式
可檢測濃度 （單位：ppm）
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
檢測表示
蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍
應答速度
10秒以內
氣體檢測儀
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