三級水電導率一般為5us/cm
蒸餾水、去離子水的區別是制取工藝不同，純蒸餾水是通過加熱冷凝制取，缺點是生產成本太高，水質純度一般，而且產量小。
去離子水是通過離子交換制取，優點是生產成本低，產量大。現在一般和反滲透配套使用生產高純水。
三級水不能和蒸餾水、去離子水比較。三級水只是蒸餾水和去離子水的標準之一，用來劃定水質純度的指標
超純水：Ultrapure水 （超純水），既將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值。 RO水：也稱純水。即通過反滲透膜過濾后的水，