G100C-100-P-1（O2）質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品編號：	11477
品牌：	hcx
單價：	面議
起訂：
供貨總量：
發(fā)貨期限：	自買家付款之日起天內(nèi)發(fā)貨
所在地：	北京
有效期至：	長期有效
最后更新：	2023-06-28 09:30
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公司基本資料信息

詳細(xì)說明

G100C-100-P-1（O2）質(zhì)量流量控制器

數(shù)字式設(shè)計簡介

G100C-100-P-1（O2）質(zhì)量流量控制器標(biāo)配高精度傳感器和數(shù)字電路，數(shù)字電路可完成測量及控制所需的所有基本功能。G100C-100-P-1（O2）采用標(biāo)準(zhǔn)的 RS-485 Modbus RTU 通信模式。RS-485 總線最高可擴(kuò)展至 255 臺設(shè)備同時使用。

G100C-100-P-1（O2）質(zhì)量流量控制器:特點(diǎn)

■ 高精度、高分辨率控制
■ DC 9-36V 寬電壓供電
■ 低功率，功率＜2W
■ 集成 40 種基礎(chǔ)氣體種類
■ 可自定義 10 種混合氣體
■ 控制參數(shù)自整定功能
■ 數(shù)字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式
■ 寬流量量程范圍

■ 無安裝方向限制
■ 具有高重復(fù)性和高可靠性
■ 采用電磁比例閥，使用壽命長，響應(yīng)速度快
■ 自帶溫度補(bǔ)償，補(bǔ)償范圍 0-50℃
■ 內(nèi)部閉環(huán)控制，具有高穩(wěn)定性
■ 小封裝尺寸

G100C-100-P-1（O2）質(zhì)量流量控制器:量程及精度簡介

■ 可用量程:最大 0-20slpm,最小 0-10sccm,常備量程請參考選型表
■ 量程比：100:1
■ 滿量程精度：±0.5%
■ 讀取精度：±1%

■ 可重復(fù)性：±0.5%FS
■ 響應(yīng)時間：＜100ms（調(diào)節(jié) PID 控制參數(shù)可縮短響應(yīng)時間）

G100C-100-P-1（O2）質(zhì)量流量控制器:應(yīng)用領(lǐng)域

■ 氣相和液相色譜儀
■ 半導(dǎo)體工藝
■ 環(huán)境監(jiān)測設(shè)備

■ 微反應(yīng)裝置及材料制備實(shí)驗(yàn)裝置（CVD）
■ 氣體發(fā)生器
■ 配氣混氣系統(tǒng)

G100C-100-P-1（O2）質(zhì)量流量控制器:功能介紹

功能	說明
流量控制	可實(shí)現(xiàn)高精度、高重復(fù)性、多種氣體質(zhì)量流量控制。
累計流量	可通過 Modbus-RTU 協(xié)議讀取累計流量。
多種量程選擇	最小量程 50sccm，最大量程 50slpm。
內(nèi)置 40 種基本氣體	內(nèi)置 40 種基本氣體，氣體種類可定制。
10 種自定義混合氣	可根據(jù)使用需求，自定義混合氣。
數(shù)字控制	使用 RS-485 通信控制。
標(biāo)準(zhǔn) Modbus-RTU	RS-485 通信采用標(biāo)準(zhǔn) Modbus-RTU 通信協(xié)議。
參數(shù)自整定	控制參數(shù)可通過協(xié)議或按鍵實(shí)現(xiàn)自動調(diào)整到最佳 PID 控制參數(shù)。
設(shè)定值記憶功能	開啟該功能后，MFC 可記錄斷電前最后一次設(shè)定值，再次通電直接執(zhí)行該設(shè)定值。
閥控功能	可實(shí)現(xiàn)閥全開、閥全關(guān)、閥自動閉環(huán)控制功能。
多臺設(shè)備串聯(lián)	通過更改通信地址，最大可實(shí)現(xiàn) 255 臺設(shè)備串聯(lián)控制。
自定義波特率	可通過 Modbus-RTU 設(shè)置自定義波特率。
通信協(xié)議兼容原型號（GT130D/GT180）設(shè)定流量和讀取流量

G100C-100-P-1（O2）質(zhì)量流量控制器:技術(shù)參數(shù)

運(yùn)行參數(shù)
讀數(shù)精度	±1% Rdg
滿量程精度	±0.5% FS
重復(fù)性	＜±0.5% FS
零點(diǎn)漂移和滿量程漂移	＜±0.02% FS/℃/Atm
量程比	100:1
典型響應(yīng)時間	＜100 毫秒（可調(diào)節(jié) PID 參數(shù)達(dá)到更短時間>
啟動預(yù)熱時間	＜1 秒
標(biāo)準(zhǔn)工況	20℃&101.325kPa（標(biāo)準(zhǔn)工況溫度可通過 RS485 調(diào)整）
耐壓	1 MPa
安裝方向要求	無
電氣參數(shù)
工作電壓	DC 9V-36V±10%
功率	＜2W
數(shù)字控制信號	RS-485 Modbus-RTU / 按鍵操作
電信號接口	1×4P 2.54mm 間距帶鎖接頭
物理參數(shù)
閥門	比例閥（常閉）
通過介質(zhì)	氣體
工作溫度	0-50℃
傳感器溫度補(bǔ)償范圍	0-50℃
工作濕度	0-100%（非冷凝）
存儲溫度	-40~85℃
泄漏率	＜0.020sccm He (壓差 150psi)

G100C-100-P-1（O2）質(zhì)量流量控制器:各量程尺寸

流量控制器量程	機(jī)械尺寸（長×寬×高 mm）	氣路連接接口
量程 50sccm 至 1slpm	50×25×50	M5
量程 5slpm	50×25×54	M5
量程 10slpm	50×25×58	M5
量程 20slpm	50×25×64	M5

G100C-100-P-1（O2）質(zhì)量流量控制器:氣體種類:基本氣體種類

非耐腐蝕性流量控制器氣體種類
氣體編號	化學(xué)符號	氣體名稱	氣體編號	化學(xué)符號	氣體名稱
0	Air	空氣	20	95%CO2/5%CH4	Bio5
1	N2	氮?dú)?/td>	21	90%CO2/10%CH4	Bio10
2	Ar	氬氣	22	85%CO2/15%CH4	Bio15
3	H2	氫氣	23	80%CO2/20%CH4	Bio20
4	He	氦氣	24	75%CO2/25%CH4	Bio25
5	O2	氧氣	25	70%CO2/30%CH4	Bio30
6	CH4	甲烷	26	65%CO2/35%CH4	Bio35
7	CO	一氧化碳	27	60%CO2/40%CH4	Bio40
8	CO2	二氧化碳	28	55%CO2/45%CH4	Bio45
9	C2H2	乙炔	29	50%CO2/50%CH4	Bio50
10	C2H4	乙烯	30	45%CO2/55%CH4	Bio55
11	C2H6	乙烷	31	40%CO2/60%CH4	Bio60
12	C3H8	丙烷	32	35%CO2/65%CH4	Bio65
13	iC4H10	異丁烷	33	30%CO2/70%CH4	Bio70
14	nC4H10	正丁烷	34	25%CO2/75%CH4	Bio75
15	N2O	一氧化二氮	35	20%CO2/80%CH4	Bio80
16	SF6	六氟化硫	36	15%CO2/85%CH4	Bio85
17	Xe	氙氣	37	10%CO2/90%CH4	Bio90
18	Ne	氖氣	38	95%Ar/5%CH4	C-5
19	Kr	氪氣	39	90%Ar/10%CH4	C-10
所有氣體可根據(jù)使用需求重新定義。

耐腐蝕型流量控制器氣體種類
氣體編號	化學(xué)符號	氣體名稱	氣體編號	化學(xué)符號	氣體名稱
0	Air	空氣	20	NH3	氨氣
1	N2	氮?dú)?/td>	21	H2S	硫化氫
2	Ar	氬氣	22	NO	一氧化氮
3	H2	氫氣	23	NO2	二氧化氮
4	He	氦氣	24	C3H6	丙烯
5	O2	氧氣	25	SiH4	硅烷
6	CH4	甲烷	26	SO2	二氧化硫
7	CO	一氧化碳	27	CH3Br	溴甲烷
8	CO2	二氧化碳	28	n-C5H12	正戊烷
9	C2H2	乙炔	29	i-C5H12	2-甲基丁烷/異戊烷
10	C2H4	乙烯	30	C5H12	2,2-二甲基丙烷/新戊烷
11	C2H6	乙烷	31	NF3	三氟化氮
12	C3H8	丙烷	32	1-Buten	1-丁烯
13	iC4H10	異丁烷	33	c-Buten	順-2-丁烯
14	nC4H10	正丁烷	34	t-Buten	反-2-丁烯
15	N2O	一氧化二氮	35	i-Buten	異丁烯
16	SF6	六氟化硫	36	CF4	四氟化碳
17	Xe	氙氣	37	C2F6	全氟乙烷
18	Ne	氖氣	38	CHF3	三氟甲烷
19	Kr	氪氣	39	SiH2Cl4	二氯甲硅烷
所有氣體可根據(jù)使用需求重新定義。

自定義混合氣體種類
氣體編號	氣體名稱	氣體編號	氣體名稱
40	自定義混合氣 0	45	自定義混合氣 5
41	自定義混合氣 1	46	自定義混合氣 6
42	自定義混合氣 2	47	自定義混合氣 7
43	自定義混合氣 3	48	自定義混合氣 8
44	自定義混合氣 4	49	自定義混合氣 9
所有氣體可根據(jù)使用需求重新定義。