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大平臺(tái)式硅片顯微鏡BMT-500
一、用途：
BMT-500大平臺(tái)硅片檢測顯微鏡是適用于對(duì)太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時(shí)配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭.是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯(cuò)、劃痕、崩邊等;還可以對(duì)硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產(chǎn)過程中必不可少的檢測儀器之一.
一、用途：
BMT-500大平臺(tái)硅片檢測顯微鏡是適用于對(duì)太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時(shí)配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭.是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯(cuò)、劃痕、崩邊等;還可以對(duì)硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產(chǎn)過程中必不可少的檢測儀器之一.
大平臺(tái)式硅片顯微鏡BMT-500
一、用途：
BMT-500大平臺(tái)硅片檢測顯微鏡是適用于對(duì)太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時(shí)配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭.是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯(cuò)、劃痕、崩邊等;還可以對(duì)硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產(chǎn)過程中必不可少的檢測儀器之一.
二、技術(shù)參數(shù)
一、用途：
BMT-500大平臺(tái)硅片檢測顯微鏡是適用于對(duì)太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時(shí)配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭.是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯(cuò)、劃痕、崩邊等;還可以對(duì)硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產(chǎn)過程中必不可少的檢測儀器之一.
二、技術(shù)參數(shù)
1.目鏡
|
類 別 |
放大倍數(shù) |
視場(mm) |
|
大視野目鏡 |
10X |
&pHi;18 |
2.物鏡
|
類 型 |
放大倍數(shù) |
數(shù)值孔徑NA |
工作距離（mm） |
|
物鏡 |
4X |
0.10 |
18.3 |
|
10X |
0.25 |
8.9 |
|
|
PC20X |
0.40 |
8.7 |
|
|
PC40X |
0.65 |
3.7 |
3.光學(xué)放大倍數(shù)：40X -- 500X
4.濾色片組：黃色、藍(lán)色、綠色、磨砂玻璃
5.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內(nèi)置檢偏振片
6.載物臺(tái)：(配有快速移動(dòng)裝置)尺寸：400*300mm 移動(dòng)范圍：254*254mm[標(biāo)配]
7.粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，微動(dòng)手輪格值：0.002mm
8.落射照明器：12V/50W鹵素?zé)簦炼瓤烧{(diào)
9.防霉：特有的防霉系統(tǒng)
10.成像系統(tǒng):日本專業(yè)進(jìn)口攝像頭或500萬高像素的數(shù)字?jǐn)z像頭
大平臺(tái)式硅片顯微鏡BMT-500
三、系統(tǒng)組成
大平臺(tái)硅片檢測顯微鏡(BMT-500E): 1、硅片顯微鏡 2、適配鏡 3、攝像器(CCD) 4、A/D(圖像采集) 5、驅(qū)動(dòng)軟件 6、數(shù)據(jù)線 7、計(jì)算機(jī)(選配)
四、總放大參考倍數(shù)
電腦型硅片檢測顯微鏡(BMT-500E)：50--4000倍 （17寸顯示器為例）
五、選購件
1.硅片專用測量軟件 2.目鏡： 20X 10X(帶刻度)