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一、用途：
BMT-600明暗場硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時配有偏光裝置，及其高像素的數碼攝像頭.本儀器配有暗場物鏡,使觀察硅片時圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器. 硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析.雜質包括: 顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發生變花、發藍、發黑等現象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產過程中必不可少的檢測儀器之一.
一、用途：
BMT-600明暗場硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時配有偏光裝置，及其高像素的數碼攝像頭.本儀器配有暗場物鏡,使觀察硅片時圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器. 硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析.雜質包括: 顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發生變花、發藍、發黑等現象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產過程中必不可少的檢測儀器之一.
二、技術參數
1.目鏡
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類 別 |
放大倍數 |
視場(mm) |
|
大視野目鏡 |
10X |
&pHi;18 |
2.物鏡
|
類 型 |
放大倍數 |
數值孔徑NA |
工作距離（mm） |
|
長工作距離平場消色差物鏡 |
5X(明場) |
0.12 |
18.3 |
|
10X(明暗場) |
0.25 |
8.9 |
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20X(明暗場) |
0.40 |
8.7 |
|
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40X(明暗場) |
0.60 |
3.7 |
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80X(明場) |
0.80 |
0.96 |
研究型硅片顯微鏡 BMT-6003.光學放大倍數：50X -- 800X 系統參考放大倍數：50X-5000X
4.濾色片組：黃色、藍色、綠色、磨砂玻璃
5.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內置檢偏振片
6.載物臺：二層機械移動式(配有快速移動裝置) 尺寸:210mmX140mm,移動范圍:75mmX50mm
7.粗微同軸調焦機構，微動手輪格值：0.002mm
8.落射照明器：6V/20W鹵素燈，亮度可調
9.防霉：特有的防霉系統
10.成像系統:500萬高像素的數字攝像頭或日本JVC攝像器
三、系統組成
硅片檢測顯微鏡(BMT-600E): 電腦型：1、硅片顯微鏡 2、適配鏡 3、攝像器(CCD) 4、A/D(圖像采集) 5、驅動軟件 6、數據線 7、計算機(選配)
四、總放大參考倍數
電腦型硅片檢測顯微鏡(BMT-600E)：50--5000倍 （17寸顯示器為例）
五、選購件
1.硅片測量軟件 2.目鏡： 20X 10X(帶刻度)
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