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? 通過(guò)稀釋實(shí)現(xiàn)多種氣體校正
? 可存儲(chǔ)已設(shè)置的氣體校正水平和校正順序
? 可隨時(shí)連接多達(dá)3個(gè)外部氣柱
? 菜單指引的軟件操作系統(tǒng)屏,十分便利
? 可分別在質(zhì)量流量控制器、臭氧發(fā)生器和紫外光度計(jì)上執(zhí)行內(nèi)部校正
? 可靈活增加質(zhì)量流量控制器的數(shù)量
操作原理
不同于體積流量測(cè)試,質(zhì)量流量測(cè)試并不依賴壓力。S-5000型號(hào)的空氣和氣體控制器采用質(zhì)量流量來(lái)準(zhǔn)確測(cè)試和控制干凈空氣或氣柱的流速,從而得出精確且重復(fù)性好的氣體濃度。
S-5000的操作很簡(jiǎn)單,所需的氣體校正水平和校正順序可以編到儀表的存儲(chǔ)器中,通過(guò)選擇存儲(chǔ)的編寫序號(hào)可以啟動(dòng)校正,從而將現(xiàn)場(chǎng)設(shè)置儀表校正的時(shí)間縮減到最短。此類校正程序很容易刪除或修改,以符合用戶的具體要求。
操作人員無(wú)需進(jìn)行計(jì)算,只需回答S-5000問(wèn)題:氣柱的濃度,零氣的流量和所需參數(shù)濃度的最終輸出,儀表會(huì)進(jìn)行最終的計(jì)算,且控制MFC得出需要的濃度。
稀釋系統(tǒng) |
|
流量測(cè)試的精確度 |
± 0.25% |
流量控制的重復(fù)性 |
± 0.1% |
流量測(cè)試的線性 |
± 0.25% |
UV光度計(jì)子系統(tǒng),帶臭氧發(fā)生器 |
|
臭氧發(fā)生器輸出 |
40 – 1,000 ppb(在總流量5.0 SLPM情況下,可調(diào)) |
標(biāo)準(zhǔn)量程 |
0 – 1 ppm(臭氧的量程0-500ppb) |
精確度 |
0.001 ppm |
電源 |
115/220 VAC 50/60 Hz |
尺寸 |
座臺(tái)式 17.8×43.5×59.0cm 支架式 17.8×48.0×59.0cm |
優(yōu)勢(shì)特征
? 通過(guò)稀釋實(shí)現(xiàn)多種氣體校正
? 可存儲(chǔ)已設(shè)置的氣體校正水平和校正順序
? 可隨時(shí)連接多達(dá)3個(gè)外部氣柱
? 菜單指引的軟件操作系統(tǒng)屏,十分便利
? 可分別在質(zhì)量流量控制器、臭氧發(fā)生器和紫外光度計(jì)上執(zhí)行內(nèi)部校正
? 可靈活增加質(zhì)量流量控制器的數(shù)量
操作原理
不同于體積流量測(cè)試,質(zhì)量流量測(cè)試并不依賴壓力。S-5000型號(hào)的空氣和氣體控制器采用質(zhì)量流量來(lái)準(zhǔn)確測(cè)試和控制干凈空氣或氣柱的流速,從而得出精確且重復(fù)性好的氣體濃度。
S-5000的操作很簡(jiǎn)單,所需的氣體校正水平和校正順序可以編到儀表的存儲(chǔ)器中,通過(guò)選擇存儲(chǔ)的編寫序號(hào)可以啟動(dòng)校正,從而將現(xiàn)場(chǎng)設(shè)置儀表校正的時(shí)間縮減到最短。此類校正程序很容易刪除或修改,以符合用戶的具體要求。
操作人員無(wú)需進(jìn)行計(jì)算,只需回答S-5000問(wèn)題:氣柱的濃度,零氣的流量和所需參數(shù)濃度的最終輸出,儀表會(huì)進(jìn)行最終的計(jì)算,且控制MFC得出需要的濃度。
稀釋系統(tǒng) |
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流量測(cè)試的精確度 |
± 0.25% |
流量控制的重復(fù)性 |
± 0.1% |
流量測(cè)試的線性 |
± 0.25% |
UV光度計(jì)子系統(tǒng),帶臭氧發(fā)生器 |
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臭氧發(fā)生器輸出 |
40 – 1,000 ppb(在總流量5.0 SLPM情況下,可調(diào)) |
標(biāo)準(zhǔn)量程 |
0 – 1 ppm(臭氧的量程0-500ppb) |
精確度 |
0.001 ppm |
電源 |
115/220 VAC 50/60 Hz |
尺寸 |
座臺(tái)式 17.8×43.5×59.0cm 支架式 17.8×48.0×59.0cm |