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優勢特征
? 通過稀釋實現多種氣體校正
? 可存儲已設置的氣體校正水平和校正順序
? 可隨時連接多達3個外部氣柱
? 菜單指引的軟件操作系統屏,十分便利
? 可分別在質量流量控制器、臭氧發生器和紫外光度計上執行內部校正
? 可靈活增加質量流量控制器的數量
操作原理
不同于體積流量測試,質量流量測試并不依賴壓力。S-5000型號的空氣和氣體控制器采用質量流量來準確測試和控制干凈空氣或氣柱的流速,從而得出精確且重復性好的氣體濃度。
S-5000的操作很簡單,所需的氣體校正水平和校正順序可以編到儀表的存儲器中,通過選擇存儲的編寫序號可以啟動校正,從而將現場設置儀表校正的時間縮減到最短。此類校正程序很容易刪除或修改,以符合用戶的具體要求。
操作人員無需進行計算,只需回答S-5000問題:氣柱的濃度,零氣的流量和所需參數濃度的最終輸出,儀表會進行最終的計算,且控制MFC得出需要的濃度。
稀釋系統 |
|
流量測試的精確度 |
± 0.25% |
流量控制的重復性 |
± 0.1% |
流量測試的線性 |
± 0.25% |
UV光度計子系統,帶臭氧發生器 |
|
臭氧發生器輸出 |
40 – 1,000 ppb(在總流量5.0 SLPM情況下,可調) |
標準量程 |
0 – 1 ppm(臭氧的量程0-500ppb) |
精確度 |
0.001 ppm |
電源 |
115/220 VAC 50/60 Hz |
尺寸 |
座臺式 17.8×43.5×59.0cm 支架式 17.8×48.0×59.0cm |
優勢特征
? 通過稀釋實現多種氣體校正
? 可存儲已設置的氣體校正水平和校正順序
? 可隨時連接多達3個外部氣柱
? 菜單指引的軟件操作系統屏,十分便利
? 可分別在質量流量控制器、臭氧發生器和紫外光度計上執行內部校正
? 可靈活增加質量流量控制器的數量
操作原理
不同于體積流量測試,質量流量測試并不依賴壓力。S-5000型號的空氣和氣體控制器采用質量流量來準確測試和控制干凈空氣或氣柱的流速,從而得出精確且重復性好的氣體濃度。
S-5000的操作很簡單,所需的氣體校正水平和校正順序可以編到儀表的存儲器中,通過選擇存儲的編寫序號可以啟動校正,從而將現場設置儀表校正的時間縮減到最短。此類校正程序很容易刪除或修改,以符合用戶的具體要求。
操作人員無需進行計算,只需回答S-5000問題:氣柱的濃度,零氣的流量和所需參數濃度的最終輸出,儀表會進行最終的計算,且控制MFC得出需要的濃度。
稀釋系統 |
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流量測試的精確度 |
± 0.25% |
流量控制的重復性 |
± 0.1% |
流量測試的線性 |
± 0.25% |
UV光度計子系統,帶臭氧發生器 |
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臭氧發生器輸出 |
40 – 1,000 ppb(在總流量5.0 SLPM情況下,可調) |
標準量程 |
0 – 1 ppm(臭氧的量程0-500ppb) |
精確度 |
0.001 ppm |
電源 |
115/220 VAC 50/60 Hz |
尺寸 |
座臺式 17.8×43.5×59.0cm 支架式 17.8×48.0×59.0cm |