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型號     

CS200（A）

  流量規格（N2） 

   ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM 

（0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM

準確度 

±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)

線性          

±0.5% F.S.

 重復精度       

  ±0.2% F.S.

響應時間

≤ 1sEC

閥類型

Normally Closed or Normally Open

工作壓差范圍

(0.05～0.35) Mpa（≤10slm） 
（0.1～0.35) Mpa（20slm，30 slm） 
(0.2～0.45) Mpa（50 slm） ＜0.02MPa

溫度系數

Zero: ≤±0.05% F.S./℃；Span: ≤±0.1% F.S.℃

最大工作壓力 

3MPa

零漂

＜0.6%F.S. per year without autozero

漏率

1×10-9 atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He）

密封材料

Viton;Neoprene

表面粗糙度

25Ra

工作環境溫度

（5～45）℃

輸入信號

Digital: RS485 DeviceNetTM 
Analog:(0～5)VDC or (4～20)mA

輸出信號

Digital: RS485 DeviceNetTM Analog:(0～5)VDC and (4～20)mA

電源

±11 ~ ±16 VDC or +11 ~ +28 VDC(400mA)

電氣連接

D sub 9 pins male，D sub 15 pins male

標準接頭形式

VCR1/4” M；Swagelok&pHi;3；SwagelokΦ6； SwagelokΦ10； Swagelok1/4”；W-seal；C-seal

重量

1kg