G300C-200-P-24-2（1%PH3）質(zhì)量流量控制器
數(shù)字式設(shè)計簡介
G300C-200-P-24-2（1%PH3）質(zhì)量流量控制器標(biāo)配高精度傳感
器和數(shù)字電路，數(shù)字電路可完成測量及控制所需
的所有基本功能。G300C-200-P-24-2（1%PH3）采用標(biāo)準(zhǔn)的 RS-485
Modbus RTU 通信模式。RS-485 總線最高可擴(kuò)展
至 255 臺設(shè)備同時使用。
G300C-200-P-24-2（1%PH3）質(zhì)量流量控制器:特點
- ■ 高精度、高分辨率控制
- ■ DC 9-36V 寬電壓供電
- ■ 低功率，功率＜2W
- ■ 集成 40 種基礎(chǔ)氣體種類
- ■ 可自定義 10 種混合氣體
- ■ 控制參數(shù)自整定功能
- ■ 數(shù)字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式
- ■ 寬流量量程范圍
- ■ 無安裝方向限制
- ■ 具有高重復(fù)性和高可靠性
- ■ 采用電磁比例閥，使用壽命長，響應(yīng)速度快
- ■ 自帶溫度補(bǔ)償，補(bǔ)償范圍 0-50℃
- ■ 內(nèi)部閉環(huán)控制，具有高穩(wěn)定性
- ■ 小封裝尺寸
G300C-200-P-24-2（1%PH3）質(zhì)量流量控制器:量程及精度簡介
- ■ 可用量程:最大 0-20slpm,最小 0-10sccm,常備量程請參考選型表
- ■ 量程比：100:1
- ■ 滿量程精度：±0.5%
- ■ 讀取精度：±1%
- ■ 可重復(fù)性：±0.5%FS
- ■ 響應(yīng)時間：＜100ms（調(diào)節(jié) PID 控制參數(shù)可縮
短響應(yīng)時間）
G300C-200-P-24-2（1%PH3）質(zhì)量流量控制器:應(yīng)用領(lǐng)域
- ■ 氣相和液相色譜儀
- ■ 半導(dǎo)體工藝
- ■ 環(huán)境監(jiān)測設(shè)備
- ■ 微反應(yīng)裝置及材料制備實驗裝置（CVD）
- ■ 氣體發(fā)生器
- ■ 配氣混氣系統(tǒng)
G300C-200-P-24-2（1%PH3）質(zhì)量流量控制器:功能介紹
| 功能 |
說明 |
| 流量控制 |
可實現(xiàn)高精度、高重復(fù)性、多種氣體質(zhì)量流量控制。 |
| 累計流量 |
可通過 Modbus-RTU 協(xié)議讀取累計流量。 |
| 多種量程選擇 |
最小量程 50sccm，最大量程 50slpm。 |
| 內(nèi)置 40 種基本氣體 |
內(nèi)置 40 種基本氣體，氣體種類可定制。 |
| 10 種自定義混合氣 |
可根據(jù)使用需求，自定義混合氣。 |
| 數(shù)字控制 |
使用 RS-485 通信控制。 |
| 標(biāo)準(zhǔn) Modbus-RTU |
RS-485 通信采用標(biāo)準(zhǔn) Modbus-RTU 通信協(xié)議。 |
| 參數(shù)自整定 |
控制參數(shù)可通過協(xié)議或按鍵實現(xiàn)自動調(diào)整到最佳 PID 控制參數(shù)。 |
| 設(shè)定值記憶功能 |
開啟該功能后，MFC 可記錄斷電前最后一次設(shè)定值，再次通電直接執(zhí)行該設(shè)定值。 |
| 閥控功能 |
可實現(xiàn)閥全開、閥全關(guān)、閥自動閉環(huán)控制功能。 |
| 多臺設(shè)備串聯(lián) |
通過更改通信地址，最大可實現(xiàn) 255 臺設(shè)備串聯(lián)控制。 |
| 自定義波特率 |
可通過 Modbus-RTU 設(shè)置自定義波特率。 |
| 通信協(xié)議兼容原型號（GT130D/GT180）設(shè)定流量和讀取流量 |
G300C-200-P-24-2（1%PH3）質(zhì)量流量控制器:技術(shù)參數(shù)
| 運行參數(shù) |
| 讀數(shù)精度 |
±1% Rdg |
| 滿量程精度 |
±0.5% FS |
| 重復(fù)性 |
＜±0.5% FS |
| 零點漂移和滿量程漂移 |
＜±0.02% FS/℃/Atm |
| 量程比 |
100:1 |
| 典型響應(yīng)時間 |
＜100 毫秒（可調(diào)節(jié) PID 參數(shù)達(dá)到更短時間> |
| 啟動預(yù)熱時間 |
＜1 秒 |
| 標(biāo)準(zhǔn)工況 |
20℃&101.325kPa（標(biāo)準(zhǔn)工況溫度可通過 RS485 調(diào)整） |
| 耐壓 |
1 MPa |
| 安裝方向要求 |
無 |
| 電氣參數(shù) |
| 工作電壓 |
DC 9V-36V±10% |
| 功率 |
＜2W |
| 數(shù)字控制信號 |
RS-485 Modbus-RTU / 按鍵操作 |
| 電信號接口 |
1×4P 2.54mm 間距帶鎖接頭 |
| 物理參數(shù) |
| 閥門 |
比例閥（常閉） |
| 通過介質(zhì) |
氣體 |
| 工作溫度 |
0-50℃ |
| 傳感器溫度補(bǔ)償范圍 |
0-50℃ |
| 工作濕度 |
0-100%（非冷凝） |
| 存儲溫度 |
-40~85℃ |
| 泄漏率 |
＜0.020sccm He (壓差 150psi) |
G300C-200-P-24-2（1%PH3）質(zhì)量流量控制器:各量程尺寸
| 流量控制器量程 |
機(jī)械尺寸（長×寬×高 mm） |
氣路連接接口 |
| 量程 50sccm 至 1slpm |
50×25×50 |
M5 |
| 量程 5slpm |
50×25×54 |
M5 |
| 量程 10slpm |
50×25×58 |
M5 |
| 量程 20slpm |
50×25×64 |
M5 |
G300C-200-P-24-2（1%PH3）質(zhì)量流量控制器:氣體種類:基本氣體種類
| 非耐腐蝕性流量控制器氣體種類 |
| 氣體編號 |
化學(xué)符號 |
氣體名稱 |
氣體編號 |
化學(xué)符號 |
氣體名稱 |
| 0 |
Air |
空氣 |
20 |
95%CO2/5%CH4 |
Bio5 |
| 1 |
N2 |
氮氣 |
21 |
90%CO2/10%CH4 |
Bio10 |
| 2 |
Ar |
氬氣 |
22 |
85%CO2/15%CH4 |
Bio15 |
| 3 |
H2 |
氫氣 |
23 |
80%CO2/20%CH4 |
Bio20 |
| 4 |
He |
氦氣 |
24 |
75%CO2/25%CH4 |
Bio25 |
| 5 |
O2 |
氧氣 |
25 |
70%CO2/30%CH4 |
Bio30 |
| 6 |
CH4 |
甲烷 |
26 |
65%CO2/35%CH4 |
Bio35 |
| 7 |
CO |
一氧化碳 |
27 |
60%CO2/40%CH4 |
Bio40 |
| 8 |
CO2 |
二氧化碳 |
28 |
55%CO2/45%CH4 |
Bio45 |
| 9 |
C2H2 |
乙炔 |
29 |
50%CO2/50%CH4 |
Bio50 |
| 10 |
C2H4 |
乙烯 |
30 |
45%CO2/55%CH4 |
Bio55 |
| 11 |
C2H6 |
乙烷 |
31 |
40%CO2/60%CH4 |
Bio60 |
| 12 |
C3H8 |
丙烷 |
32 |
35%CO2/65%CH4 |
Bio65 |
| 13 |
iC4H10 |
異丁烷 |
33 |
30%CO2/70%CH4 |
Bio70 |
| 14 |
nC4H10 |
正丁烷 |
34 |
25%CO2/75%CH4 |
Bio75 |
| 15 |
N2O |
一氧化二氮 |
35 |
20%CO2/80%CH4 |
Bio80 |
| 16 |
SF6 |
六氟化硫 |
36 |
15%CO2/85%CH4 |
Bio85 |
| 17 |
Xe |
氙氣 |
37 |
10%CO2/90%CH4 |
Bio90 |
| 18 |
Ne |
氖氣 |
38 |
95%Ar/5%CH4 |
C-5 |
| 19 |
Kr |
氪氣 |
39 |
90%Ar/10%CH4 |
C-10 |
| 所有氣體可根據(jù)使用需求重新定義。 |
| 耐腐蝕型流量控制器氣體種類 |
| 氣體編號 |
化學(xué)符號 |
氣體名稱 |
氣體編號 |
化學(xué)符號 |
氣體名稱 |
| 0 |
Air |
空氣 |
20 |
NH3 |
氨氣 |
| 1 |
N2 |
氮氣 |
21 |
H2S |
硫化氫 |
| 2 |
Ar |
氬氣 |
22 |
NO |
一氧化氮 |
| 3 |
H2 |
氫氣 |
23 |
NO2 |
二氧化氮 |
| 4 |
He |
氦氣 |
24 |
C3H6 |
丙烯 |
| 5 |
O2 |
氧氣 |
25 |
SiH4 |
硅烷 |
| 6 |
CH4 |
甲烷 |
26 |
SO2 |
二氧化硫 |
| 7 |
CO |
一氧化碳 |
27 |
CH3Br |
溴甲烷 |
| 8 |
CO2 |
二氧化碳 |
28 |
n-C5H12 |
正戊烷 |
| 9 |
C2H2 |
乙炔 |
29 |
i-C5H12 |
2-甲基丁烷/異戊烷 |
| 10 |
C2H4 |
乙烯 |
30 |
C5H12 |
2,2-二甲基丙烷/新戊烷 |
| 11 |
C2H6 |
乙烷 |
31 |
NF3 |
三氟化氮 |
| 12 |
C3H8 |
丙烷 |
32 |
1-Buten |
1-丁烯 |
| 13 |
iC4H10 |
異丁烷 |
33 |
c-Buten |
順-2-丁烯 |
| 14 |
nC4H10 |
正丁烷 |
34 |
t-Buten |
反-2-丁烯 |
| 15 |
N2O |
一氧化二氮 |
35 |
i-Buten |
異丁烯 |
| 16 |
SF6 |
六氟化硫 |
36 |
CF4 |
四氟化碳 |
| 17 |
Xe |
氙氣 |
37 |
C2F6 |
全氟乙烷 |
| 18 |
Ne |
氖氣 |
38 |
CHF3 |
三氟甲烷 |
| 19 |
Kr |
氪氣 |
39 |
SiH2Cl4 |
二氯甲硅烷 |
| 所有氣體可根據(jù)使用需求重新定義。 |
| 自定義混合氣體種類 |
| 氣體編號 |
氣體名稱 |
氣體編號 |
氣體名稱 |
| 40 |
自定義混合氣 0 |
45 |
自定義混合氣 5 |
| 41 |
自定義混合氣 1 |
46 |
自定義混合氣 6 |
| 42 |
自定義混合氣 2 |
47 |
自定義混合氣 7 |
| 43 |
自定義混合氣 3 |
48 |
自定義混合氣 8 |
| 44 |
自定義混合氣 4 |
49 |
自定義混合氣 9 |
| 所有氣體可根據(jù)使用需求重新定義。 |
