美國 ALICAT 21-1-0-1-500-DB9M-KMB1728 標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品編號：	15967
品牌：	美國 ALICAT
型號：	ALICAT 21
規(guī)格：	臺
單價(jià)：	面議
起訂：
供貨總量：
發(fā)貨期限：	自買家付款之日起 3 天內(nèi)發(fā)貨
所在地：	北京
有效期至：	長期有效
最后更新：	2024-03-05 16:09
瀏覽次數(shù)：	49

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公司基本資料信息

詳細(xì)說明

美國 ALICAT 21-1-0-1-500-DB9M-KMB1728 標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器

量程 0.5 SCCM - 6000 SLPM，優(yōu)于 1 % 的精度，控制范圍廣，優(yōu)于 100 ms 響應(yīng)時(shí)間

美國 ALICAT 21 系列標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差專利技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有 NIST 可溯源校準(zhǔn)證書。

可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。設(shè)備采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁閥以及優(yōu)化的 PID 調(diào)校，可達(dá)到優(yōu)于 100 ms 的控制速度，并保持極佳穩(wěn)定性，并有超低壓損產(chǎn)品可供您選擇。

美國 ALICAT 21-1-0-1-500-DB9M-KMB1728 標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器

美國 ALICAT 21-1-0-1-500-DB9M-KMB1728 標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器儀器特點(diǎn)

? 數(shù)字化產(chǎn)品
? 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
? 多參數(shù)控制，如體積流量、質(zhì)量流量和壓力
? 標(biāo)配三種控制方式：數(shù)字、模擬和本地面板
? 可選高精度：優(yōu)于 0.5%
? 可測范圍廣，0.01 ～ 100% 滿量程
? 響應(yīng)時(shí)間快，優(yōu)于 100 ms
? 內(nèi)置 98 種氣體
? 可現(xiàn)場編輯混合氣體（最多 5 種成分），并最多存儲 20 種混合氣

美國 ALICAT 21-1-0-1-500-DB9M-KMB1728 標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器行業(yè)應(yīng)用

? 大學(xué) / 研究所
? 環(huán)境監(jiān)測
? 真空行業(yè)及鍍膜
? 工業(yè)爐窯
? 半導(dǎo)體

? 汽車制造
? 光伏
? 燃料電池
? 計(jì)量校準(zhǔn)
? 過程工藝氣體測量

美國 ALICAT 21 系列標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器精度升級

量程為 0.5 SCCM - 6000 SLPM，其中 10 SCCM - 20 SLPM 量程段，下述指標(biāo)升級：
質(zhì)量流量普通精度	± 0.6% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）
質(zhì)量流量高精度	± 0.5% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）
重復(fù)性	±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）
質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移	± 0.01% 滿量程 / ℃溫差 ± 0.01% 滿量程 / Atm 壓力差
質(zhì)量流量量程漂移	± 0.01% 讀數(shù) / ℃溫差 ± 0.1 % 讀數(shù) / Atm 壓力差

美國 ALICAT 21 系列標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器性能指標(biāo)

介質(zhì)要求	非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類	內(nèi)置了 98 種氣體，請參考背面一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量程	從 0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（詳情請咨詢）
測量和控制范圍	0.01~100% 滿量程
最大顯示流量	128 % 滿量程
最大可控流量	102.4 % 滿量程
顯示屏	按鍵操作，標(biāo)準(zhǔn)為 LCD 黑白顯示屏（帶背光），可選 TFT 彩色顯示屏
顯示方式	同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精度	±（0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程） ±（0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）（可選）
累計(jì)流量精度	流量精度之外增加 ±0.5% 讀數(shù)的額外誤差
重復(fù) 性	± 0.2 % 滿量程
零點(diǎn)漂移 & 滿量程漂移	0.02 % 滿量程 / ℃ / Atm
響應(yīng)時(shí)間	優(yōu)于 100 ms
預(yù)熱時(shí)間	＜ 1 s
標(biāo)定工況	25 ℃ & 1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）
工作溫度	-10 ～ 60 ℃（可選高溫選項(xiàng)至 100℃）
溫度精度	± 0.75 ℃
工作濕度	0 ~ 95 %，無冷凝
最大工作壓力	1 MPaG（可選 2 MPaG 高壓選項(xiàng)）
最低操作壓力	如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓 80 KPaA 以上使用；其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定
壓力精度	± 0.5 % 讀數(shù)（讀數(shù)＞ 1Atm）或 ±0.07 PSIA（＜ 1Atm）
滿量程壓損	參考背面詳細(xì)壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率	數(shù)字信號 40 Hz@19200 波特率；模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率	10 Hz
數(shù)字輸入 / 輸出信號	RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、 Profibus*、Modbus RTU（RS232/RS485）
模擬輸入 / 輸出信號	0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出	質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度	在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ±0.1% 滿量程的誤差
供電電壓	7 - 30 VDC （如選 4-20 mA 輸出，須為 15 - 30 VDC ）
供電電流	250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢）額外加 40 mA（ 4 - 20 mA）
電氣接口	DB9，可選 DB15、6 針工業(yè)接頭、8 針 Mini-DIN
泄漏率（外漏）	選擇 HLC 選項(xiàng)，泄漏率可低至 1 x 10-9Atm cc/s He
材質(zhì)	302 不銹鋼、Viton、硅膠 RTV、玻璃增強(qiáng)尼龍、鋁、黃銅、430FR 不銹鋼、硅、玻璃
過程連接	標(biāo)準(zhǔn)為 NPT 內(nèi)螺紋，詳情參考壓損表
安裝方式	對位置無要求
防護(hù)等級	IP40
認(rèn)證	ISO 9001、NIST、CE、RoHS、REACH、CSA （可選）
* 如選 Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢

美國 ALICAT 21 系列標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器尺寸/壓損

滿量程質(zhì)量流量控制器	滿量程壓損 1（psid）排氣到大氣中	外觀尺寸	連接接口 2
0.5 sccm - 50 sccm	1.0	3.9''H ×3.4''W ×1.1''D	M-5 （10-32）（內(nèi)螺紋）3
100 sccm - 500 sccm	1.0	4.1''H ×3.6''W ×1.1''D	1/8''NPT 內(nèi)螺紋
1 slpm	1.5
2 slpm	3.0
5 slpm	2.0
10 slpm	5.5
20 slpm	20.0
50 slpm	2.0	5.5''H ×7.7''W ×2.3''D	1/4''NPT 內(nèi)螺紋
100 slpm	3.2	5.5''H ×7.7''W ×2.3''D	1/4''NPT 內(nèi)螺紋
250 slpm	2.4	5.5''H ×7.7''W ×2.3''D	1/2''NPT 內(nèi)螺紋
500 slpm	6.5	5.5''H ×7.4''W ×2.3''D	3/4''NPT 內(nèi)螺紋（2000 SLPM 可選配 1-1/4''NPT 內(nèi)螺紋）
1000 slpm	14.0	5.5''H ×7.4''W ×2.3''D
1500 slpm	17.0	5.5''H ×8.1'W ×2.9''D
2000 slpm	28.6	5.5''H ×8.1'W ×2.9''D
3000 slpm	16.8	5.5''H ×8.9''W ×2.9''D	1-1/4''NPT 內(nèi)螺紋
5000 slpm	14.1	6.3''H ×10.0''W ×4.5''D	1-1/2''NPT 內(nèi)螺紋
1、另有低壓損系列質(zhì)量流量控制器。 2、與 Beswick®，Swagelok® 管，Parker®，表面密封，快接接頭和卡套轉(zhuǎn)接頭相兼容，也可以按照用戶需求與 VCR，SAE 接頭相兼容。 3、Buna-N 表面密封至 1/8''NPT 內(nèi)螺紋。

美國 ALICAT 21 系列標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器氣體兼容表

編碼	名稱	類別
常規(guī)氣體
0	空氣 Air	①
14	乙炔 (C2H2)	①
1	氬氣 (Ar)	①
16	異丁烷 (i-C4H10)	①
13	n-C4H10 normal Butane 丁烷	①
4	CO2 Carbon Dioxide 二氧化碳	①
3	CO Carbon Monoxide 一氧化碳	①
60	D2 Deuterium 氘	①
5	C2H6 Ethane 乙烷	①
15	C2H4 Ethylene 乙烯	①
7	He Helium 氦	①
6	H2 Hydrogen 氫	①
17	Kr Krypton 氪	①
2	CH4 Methane 甲烷	①
10	Ne Neon 氖	①
8	N2 Nitrogen 氮?dú)?/td>	①
9	N2O Nitrous Oxide 一氧化二氮	①
11	O2 Oxygen 氧	①
12	C3H8 Propane 丙烷	①
19	SF6 Sulfur Hexafluoride 六氟化硫	①
18	Xe Xenon 氙	①
腐蝕性氣體
30	NO Nitric Oxide 一氧化氮	②
31	NF3 Nitrogen Trifluoride 三氟化氮	②
32	NH3 Ammonia 氨氣	②
33	CL2 Chlorine 氯氣	③
34	H2S Hydrogen Sulfide 硫化氫	②
35	SO2 Sulfur Dioxide 二氧化硫	③
85	CH3OCH3 Dimethyl Ether 二甲醚	②
36	C3H6 Proylene 丙烯	②
86	SiH4 Silane 硅烷	②
80	C4H8 1-Butene 1—丁烯	②
81	C4H8 cis-2-butene 順 -2- 丁烯	②
82	C4H8 Iso-Butene 異丁烯	②
83	C4H8 Trans-Butene 反丁烯	②
84	COS Carbonyl Sulfide 羰基硫	②
焊接氣體
23	2% CO2 / 98% Ar	①
22	8% CO2 / 92% Ar	①
21	10% CO2 / 90% Ar	①
140	15% CO2 / 85% Ar	①
141	20% CO2 / 80% Ar	①
20	25% CO2 / 75% Ar	①
142	50% CO2 / 50% Ar	①
24	75% CO2 / 25% Ar	①
25	25% He / 75% Ar	①
143	50% He / 50% Ar	①
26	75% He / 25% Ar	①
144	90% He / 10% Ar	①
27	90% He / 7.5% Ar/ 2.5% CO2	①
28	Stargon CS 90% Ar/ 8% CO2 / 2% O2	①
生物反應(yīng)氣體
145	5% CH4 / 95% CO2	①
146	10% CH4 / 90% CO2	①
147	15% CH4 / 85% CO2	①
148	20% CH4 / 80% CO2	①
149	25% CH4 / 75% CO2	①
150	30% CH4 / 70% CO2	①
151	35% CH4 / 65% CO2	①
152	40% CH4 / 60% CO2	①
153	45% CH4 / 55% CO2	①
154	50% CH4 / 50% CO2	①
155	55% CH4 / 45% CO2	①
156	60% CH4 / 40% CO2	①
157	65% CH4 / 35% CO2	①
158	70% CH4 / 30% CO2	①
159	75% CH4 / 25% CO2	①
160	80% CH4 / 20% CO2	①
161	85% CH4 / 15% CO2	①
162	90% CH4 / 10% CO2	①
163	95% CH4 / 5% CO2	①
煙道氣
200	2.5% O2 / 10.8% CO2 / 85.7% N2 / 1% A	①
201	2.9% O2 / 14% CO2 / 82.1% N2 / 1% Ar	①
202	3.7% O2 / 15% CO2 / 80.3% N2 / 1% Ar	①
203	7% O2 / 12% CO2 / 80% N2 / 1% Ar	①
204	10% O2 / 9.5% CO2 / 79.5% N2 / 1% Ar	①
205	13% O2 / 7% CO2 / 79% N2 / 1% Ar	①
激光氣體
179	4.5% CO2 / 13.5% N2 / 82% He	①
180	6% CO2 / 14% N2 / 80% He	①
181	7% CO2 / 14% N2 / 79% He	①
182	9% CO2 / 15% N2 / 76% He	①
183	9% Ne / 91% He	①
184	9.4% CO2 / 19.25% N2 / 71.35% He	①
100	R-11 Trichlorofluoromethane	②
101	R-115 Chloropentafluoroethane	②
102	R-116 Hexafluoroethane	②
103	R-124 Chlorotetrafluoroethane	②
104	R-125 Pentafluoroethane	②
105	R-134A Tetrafluoroethane	②
106	R-14 Tetrafluoromethane	②
107	R-142b Chlorodifluoroethane	②
108	R-143a Trifluoroethane	②
109	R-152a Difluoroethane	②
110	R-22 Difluoromonochloromethane	②
111	R-23 Trifluoromethane	②
112	R-32 Difluoromethane	②
113	RC-318 Octafluorocyclobutane	②
114	44% R-125 / 4% R-134A / 52% R-143A	②
115	23% R-32 / 25% R-125 / 52% R-134A	②
116	50% R-32 / 50% R-125	②
117	50% R-125 / 50% R-143A	②
氧濃縮氣體
197	89% O2 / 7% N2 / 4% Ar	①
198	93% O2 / 3% N2 / 4% Ar	①
199	95% O2 / 1% N2 / 4% Ar	①
燃料氣體
185	40% H2 / 29% CO / 20% CO2 / 11% CH4	①
186	64% H2 / 28% CO / 1% CO2 / 7% CH4	①
187	70% H2 / 4% CO / 25% CO2 / 1% CH4	①
188	83% H2 / 14% CO / 3% CH4	①
189	93% CH4 / 3% C2H6 / 1% C3H8 / 2%N2 / 1% CO2	①
190	95% CH4 / 3% C2H6 / 1% N2 / 1% CO2	①
191	95.2% CH4 / 2.5% C2H6 / 0.2% C3H8/ 0.1% C4H10 / 1.3% N2 / 0.7% CO2	①
192	50% H2 / 35% CH4 / 10% CO / 5% C2H4	①
193	75% H2 / 25% N2	①
194	66.67% H2 / 33.33% O2	①
195	LPG 96.1% C3H8 / 1.5% C2H6 / 0.4% C3H6 / 1.9% n-C4H10	②
196	LPG 85% C3H8 / 10% C3H6 / 5% n-C4H10	②
呼吸氣體
164	32% O2 / 68% N2	①
165	36% O2 / 64% N2	①
166	40% O2 / 60% N2	①
167	20% O2 / 80% He	①
168	21% O2 / 79% He	①
169	30% O2 / 70% He	①
170	40% O2 / 60% He	①
171	50% O2 / 50% He	①
172	60% O2 / 40% He	①
173	80% O2 / 20% He	①
174	99% O2 / 1% He	①
175	Enriched Air-40% O2	①
176	Enriched Air-60% O2	①
177	Enriched Air-80% O2	①
178	metabolic Exhalant (16% O2 / 78.04% N2 / 5% CO2 / 0.96% Ar)	①
色譜氣體
29	5% CH4 / 95% Ar	①
206	10% CH4 90% Ar	①
* 混合氣體編碼為“800”，選項(xiàng)中須有具體混合氣體比例說明。 * 對于液體流量計(jì)和控制器，液體指純水，液體編碼為“900”。 * ALICAT 非抗腐蝕流量計(jì) / 控制器產(chǎn)品，可支持①類氣體。 * ALICAT 抗腐蝕流量控制器產(chǎn)品，可支持①、②類氣體。 * ALICAT 抗腐蝕流量計(jì)產(chǎn)品，可支持①、②、③類氣體。 * 未在表中列出的氣體，也可能被測控，具體請咨詢我們。